洁净室的压力差检测主要是以便明确洁净室空调机组的工作压力设定。要想维持洁净室洁净度等级, 就必须维持一定的正压力值, 它是洁净室检测的基础知识。现阶段, 普遍洁净室的正压力值规定约为10至25帕在洁净室检测新项目中,压力差检测应紧接在风力、排风量、平面度和别的与气旋立即有关的检测以后, 尤其是在洁净度精确测量以后。由于假如工作压力不对,应当马上调节,以防危害洁净度。精确测量时,全部窗门务必关掉,全部散热风扇务必维持一切正常运行。
差测试设备
压力差精确测量能够应用斜管沉淀池真空压力表、指南针真空压力表或电子器件真空压力表,简单点来说,要是检测范围和精密度符合要求的仪器设备都能够。力计的精密度规定为读值的5%,在于检测范围的工作压力设计方案值。一般 ,0 ~5室米Aq(0-50帕)能够 需盖房间内和户外压力差的精确测量就可以。特别注意的是,压力差检测中,仅有历经校正且仍在有效期限内的仪器设备才可以应用。检测前和递交汇报时,务必另附达标的校正文档。
差测试流程
1.仅有在进行风力、排风量和气体总流量的检测后,才可以测试压力,并且排气管和MAU应一切正常工作中。
2.全部洁净室的i ]和张口都应关掉。假定户外大气压强为0.0毫欧表压。
3.应用测试仪器精确测量洁净区与邻近二级洁净区中间的压误差,随后精确测量屋子与更衣间中间的压力差,最终精确测量 更衣间与外部中间的压力差。
4.强烈推荐压力差为5~12Pa,自然这不是强制的。
5.纪录全部测量的数据信息。